Pièces en forme de céramique d’alumine

Bras robotiques en céramique zircone et équipement de manipulation de plaquettes semi-conducteurs Introduction du produit:

1.Caractéristiques du produit

• Performance matérielle: fabriqué en céramique de zircone de haute pureté, il possède une haute résistance (résistance à la compression supérieure à 2000 MPa), une dureté élevée (dureté Mohs 8,5), une résistance à hautes températures (température de fonctionnement maximale 1600℃) et une excellente résistance à l’usure.

• usinage de précision: par le pressage isostatique à froid, le frittage à haute température, et l’usinage de précision, l’exactitude dimensionnelle peut atteindre ±0.001mm, et la finition de surface atteint Ra0.1.

• stabilité chimique: il présente la stabilité dans des environnements de solvants acides, alcalins et organiques, n’est pas sujette aux réactions chimiques, et ne contaminera pas les composants de semi-conducteur.

Champs d’application

• manipulation de plaquettes dans la fabrication de semi-conducteurs.

• composants mécaniques dans des environnements à haute température.

• parties communes de robots humanoïdes.

• matériaux de protection contre les rayonnements.

Matériel de manutention de plaquettes semi-conducteurs

1.Bras Robot de vide:

• environnement de travail: 10⁻⁵ Pa vide.

• équipement Applicable: machines de photolithographie, machines à graver, etc.

• caractéristiques techniques: utilise des moteurs à entraînement direct pour éviter la contamination par le lubrifiant.

2.Bras Robot atmosphérique:

• niveau de propreté: classe 1-10.

• part de marché: 60%.

• caractéristiques techniques: adopte une conception de structure scellée.

3.Technologies de base:

• sélection du matériau: céramique d’alumine de pureté de 95% à 99% (résistivité à la température ambiante 10¹⁵ ω ·cm) ou céramique de carbure de silicium (conductivité thermique 490 W/m·K).

• précision de positionnement: précision de positionnement reproductible ± 0,05 mm, vibration horizontale 0.2g.

• technologie de propreté: atteint le plus haut niveau de propreté (classe 1) dans la classification de salle blanche de norme ISO.

Supports custom specifications.